苏州摩星真空科技有限公司

电弧泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

低碳、无油、高效的电弧吸附泵一、真空行业背景（一）真空技术提供了除太空之外最清洁的环境，现已成为众多高新科技产业和重大科研装备的技术基础；（二）然而，真空产业�?..

机组应用

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

一、全球首创、中国发明、中国制造：低碳、无油蒸发镀膜设�?. 攻克高真�?”无法提供弧光放电所需的大量气体分子”技术难关，研制成功世界首台低碳、无油、大抽速（5...

立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

径流分子泵简介一、背景真空技术提供除太空之外最清洁的环境，成为众多高新科技产业和重大科研装备的技术基础。真空产业已成为与国家科技实力和国计民生息息相关的重要产业...

卧式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

机组应用

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-19

机组应用�?. 攻克高真�?”无法提供弧光放电所需的大量气体分子”技术难关，研制成功世界首台低碳、无油、大抽速（5~10万升/秒）高真空泵—“电弧化学吸附泵机组...

立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-10

产品结构特点�?结构简单，转子全部由平圆盘组成（图1），攻克了分子泵涡轮转子易打片损坏的一大缺陷● ML系列立式径流泵采用独特的侧壁进气模式�?攻克了传统分子泵...

径流分子泵的应用

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

径流分子泵的应用：中科院•重离子加速器径流分子泵用于中科院重离子加速器，成功取代液氮冷�?EDWARDS无油真空泵，获得十分清洁的无油真空，真空质量达到国际领先...

LB-250立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

LB-200立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

MB-250卧式径流分子�?017

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

MB-200卧式径流分子�?2015

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

卧式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

LB-200立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-14

资料整理�?..

立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-10

卧式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-10

电弧泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-19

电弧泵的应用�?. 攻克高真�?”无法提供弧光放电所需的大量气体分子”技术难关，研制成功世界首台低碳、无油、大抽速（5~10万升/秒）高真空泵—“电弧化学吸附泵...

电子控制柜

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

电子控制柜

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-03-01

01ML系列立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-06

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01ML系列立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-06

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01ML系列立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-06

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01ML系列立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-06

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01ML系列立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-06

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01ML系列立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-06

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LB-250立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-12

资料整理�?..

MB-250卧式径流分子�?017

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-12

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MB-200卧式径流分子�?2015

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-12

立式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-10

卧式径流分子泵

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-10

“低成本无油蒸发镀膜设备”惊艳问世！

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-21

“低成本无油蒸发镀膜设备”惊艳问世！最近，苏州摩星真空科技有限公司研发成功世界首台“低成本、无油蒸发镀膜设备”（简称“无油镀膜设备”）。该设备与传统双机组扩散�?..

100、辉光清洗阶段放电的压力高低和氩气流量与清洗效果的关系如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：辉光清洗的作用是利用放电形成的带电粒子轰击真空室器壁、工件以及其他表面，在烘烤和精抽的基础上进一步激发吸附气体的脱附，同时达到清洗工件表面的目的。放电的带电...

99、在磁控溅射或阴极电弧蒸发阶段为什么要节流？抽速的大小对真空室内压力的均匀有什么影响？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：为什么节流可有几种说法。在磁控溅射或阴极电弧蒸发阶段真空室的压力较高，�?.5Pa，这是由于工作气体Ar气和反应气体的导入而造成的。此工作压力会使得真空系�?..

98、如经过长时间精抽后，真空室本底压力为P，而在随后的沉积过程中，工作压力为50P，试问这两种情况下，真空室内活性气体分压各为多少？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

98、如经过长时间精抽后，真空室本底压力为P，而在随后的沉积过程中，工作压力为50P，试问这两种情况下，真空室内活性气体分压各为多少？答：系统长时间抽气后，其�?..

97、如何减少真空室器壁和工件等其他表面的放气率？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：固体表面吸附的气体量决定于平衡压力和温度，即通常是一个大气压和室温，一旦偏离原压力和温度（压力降低，温度升高），吸附的气体便会脱附而释放到空间。如压力不变�?..

96、为什么从大气开始抽气，每经�?.3倍的时间常数（）压力降低一个数量级的规律只维持较短的时间后，压力下降越来越慢？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：这一抽气规律只适用于一个不漏气，不放气的系统，也就是系统空间气体遵从的规律。当一个系统开始从大气抽气相对短暂的时间内，压力较高，其漏气量和放气量与空间气体量...

95、如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：采用灭弧电源和脉冲溅射可以达到此目的。前者定时地产生一个反向脉冲进行中和，根除诱因。后者使靶与阳极周期交换位置，能及时中和靶上的正离子及阳极上的电子，从而达...

94、磁控溅射沉积中为什么会出现“拉弧”？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：主要原因是堆积在靶面化合物膜层上的正离子以及堆积在阳极表面绝缘层上的电子产生强电场，最终因强电场击穿而引发弧光放电。

93、什么是阳极消失？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：沉积化合物膜层时，不可避免地会在阳极表面逐渐沉积上一层绝缘的化合物膜层，使得放电区域的低能电子越来越难以回到作为归宿的阳极，直到最终通路完全隔断，这就是阳极...

92、在靶中毒的情况下，沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：当反应气体流量超过一定数量时，溅射进入反应模式，溅射速率明显下降。而减少反应气体流量至原反转点时，反应模式并不返回到原溅射速率较高的金属模式，而是继续减少�?..

91、为什么反应溅射沉积速率低？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在反应溅射时，反应气体会与靶材反应生成化合物，而化合物的溅射率低于原靶材的溅射率。另一方面，化合物的二次电子发射能力强，增大的二次电子发射将降低靶电压，从�?..

90、什么是靶中毒？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在反应沉积时，由于反应气体可在靶面形成一层绝缘的化合物膜层，使碰撞上去的离子无法进入阴极，而堆积在绝缘层上。如此，靶面上将形成逐步升高的正电位。若电源输出�?..

89、磁控靶表面的磁场强度是多少？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：水平磁场的强度约300-500GS。电子在靶表面做旋轮线运动，其旋轮半径，磁场的大小应使r大小落在靶表面的阴极位降范围，才能使电子的电离作用得到最大的发挥�?..

88、磁控溅射典型的工艺参数？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：工作压力0.5Pa，靶电压300-600V，靶电流密度20mA/ cm2，沉积速率2 。

87、什么是离子束溅射？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：将离子产生的区域与溅射沉积的区域分开。离子产生在较高的压力下，再将其引入到真空度高的区域进行溅射沉积，这样既可以避免放电空间的杂质及其他污染，防止带电粒子的...

86、什么是偏压溅射？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在一般溅射装置的基础上，将基体电位与接地阳极电位分开，并在基体与等离子体之间施加一定大小偏置电压，可以吸引一部分放电空间的离子趋向基体，其轰击效应可以达到改...

85、为什么射频溅射可以溅射非导电靶材？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：电子在射频电场作用下形成振荡运动，电离能力大大增强，并不像直流放电中对阴极二次电子发射有强烈的依赖。高频电路的能量可以通过耦合方式进入放电空间，并不需要像�?..

84、什么是三极溅射？其工艺参数如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在二级溅射的基础上，增加一个发射电子的热阴极及一个加速电子的辅助阳极，由于热电子增强了放电空间的电离能力，所以可以降低放电的压力，减少气体杂质的污染，提高沉...

83、什么是二极溅射？其工艺参数如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：作为阴极的靶材与阳极（壳体）之间形成的气体放电，放电产生的离子流轰击靶材产生溅射，溅射粒子沉积与在阳极同电位或处于悬浮电位中的基片上，此为二级溅射。其典型�?..

82、磁控溅射中，磁场起什么作用？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：磁场虽不能对运动电荷做功，但是能改变运动方向，在磁控溅射中，靶面水平方向的磁场和法向的电场构成了互相垂直的电磁场，电子在正交场的作用下在垂直电场和磁场的方向...

81、磁控溅射的特点是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：由于正交的磁场有效的地将电子束缚在靶面附近运动，大大提高了电子的电离能力，所以磁控溅射可以在较低的放电电压，在较低的压力下，大大提高沉积速率。同时约束了电子...

80、合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：由于不同元素的饱和蒸汽压相差较大，最大可达几个数量级，所以蒸发沉积合金薄膜难于保证成分比。而不同元素的溅射产额差别一般不会太大，再加上在溅射过程中，择优溅射...

79、沉积速率与压力关系如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：一般随着放电的压力增高，离子流增大，溅射速率增加，从而沉积速率亦会增大，但放电压力过高，由于背散射增加，溅射粒子易于返回靶的表面，并且压力过高时，平均自由�?..

78、什么是溅射速率？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：单位时间从靶表面单位面积上溅射出的靶材原子数，称为溅射速率，它决定于放电的离子电流密度和靶材的溅射产额的乘积。

77、溅射粒子角分布（方向分布）如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：与蒸发粒子的余弦分布不同，溅射粒子的出射方向遵从欠余弦分布，即按分布（n<1），如入射粒子的能量越小，欠余弦分布越明显。

76、为什么溅射产额与离子的入射方向有关？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：溅射产额随离子入射的角度增大而增大，与入射角的余弦倒数成正比，即正比于。入射角度的增大使得受入射离子

75、为什么选用氩气作为放电气体？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：因为氩气的放电电压不高，易于形成稳定的放电；氩气有较大的原子量，这是产生较大的溅射产额所需要的；氩气是惰性气体，不会与靶材发生反应；氩气也是自然界含量最多的...

74、溅射产额与哪些因素有关？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：溅射产额与入射粒子的能量、入射粒子的种类、被溅射材料的种类、温度以及入射粒子的入射方向有关。

73、什么是溅射产额？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：当某种离子以确定的能量、确定的方向轰击某种材料表面时，所能溅射出的材料原子数，称为在该种入射离子条件下，材料的溅射产额，又称为溅射率，溅射系数。

72、浸没在等离子体中基片的悬浮电位是多少？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：悬浮电位在Ar等离子体中，当电子温度等�?eV时，左右。

71、什么是等离子体鞘层？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：由于在等离子体中，电子的温度（或平均能量）与离子的温度（或平均能量）不同，且差别很大。因此任何处于等离子体中的表面上，由于碰撞上去的正负电荷数的显著差别，使...

70、从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：可以分为�?）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法�?）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

69、真空检漏的意义？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速S和漏气量Q，即，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在...

68、影响热阴极电离真空计测量下限的原因是什么？如何改进？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：电子打到收集极上产生软X射线辐射，离子收集极吸收了软X射线会产生光电子发射，由此形成的电子电流正好与离子电流方向一致，故叠加在一起，但此电流与压力无关，当压...

67、热偶真空计和热阴极电离真空计的工作范围？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：热偶真空计的工作范围�?�?0-3Torr�?00�?0-1Pa）；热阴极电离真空计的工作范围：10-3�?0-7Torr�?0-1�?0-5Pa）。

66、什么是电离真空计的外控接法？有何好处？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：如规管的栅极作为电子加速极，而板极作为离子收集极，此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获，并受灯丝和板极的电位排斥，可以在灯丝与板极的空间...

65、电离真空计的工作原理？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：利用电子对气体的碰撞产生电离作用，而电离的效果是与气体压力有关的。当电子电流一定时，电离形成的离子流正比于压力，故通过离子流间接测量气体的压力。

64、热传导真空计为什么易老化？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改...

63、影响热传导真空计测量下限的原因是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的...

62、热传导真空计的原理？通过什么量的测量来反映热传导的变化？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化，从而反映热传导的变化，用此种测量方法的真空计称�?..

61、麦氏真空计的特点？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：麦氏真空计是一种绝对真空计，可以给出被测压力的绝对值。但麦氏计只能测量被测气体中永久性气体的分压强，不能测量其中可凝性气体的压强。

60、什么是真空系统的时间常数？一个不漏气也不放气的系统在抽气过程中压力如何变化？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：真空系统的容积与系统的有效抽速之比称为真空系统的时间常数，即。如果系统既不漏气也不放气，则在抽气过程中，即每经过的时间，系统压力降低一个数量级。

59、涡轮分子泵对什么气体的抽速较大？为什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：涡轮分子泵对比较重的气体抽速较大，因较重的气体最可几速率小，故叶轮的速率比值s大，而在的范围内，抽速是随着s增大而增大的。

58、固定涡轮分子泵轮叶槽间隙和弦长之比image.png，则image.png和image.png与什么因素有关？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：当空弦比固定后，零流量下的最大压缩比和单位压缩比下的最大抽速系数决定于叶轮的速率比值和叶面角。

57、扩散泵的主要缺点是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：扩散泵最主要的缺点是油蒸汽污染严重，限制了一些应用场合，或是使真空质量下降；另外能耗大也是一个明显的缺点。

56、扩散泵对什么气体的抽速较大？为什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：扩散泵对比较轻的气体的抽速较大，因为较轻的气体分子热运动速率大，故最大比抽速也大

55、是什么原因影响了油扩散泵的运用范围？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：油扩散泵的工作上限是由于超过此压力，被抽气体密度高，与蒸汽射流碰撞造成了对射流的破坏。而在工作下限时，由于被抽气体从前级的反扩散超过了蒸汽射流的抽气作用。

54、机械泵油的作用是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：1）密封；2）润滑，3）在低压下帮助打开排气口。

53、旋片泵的极限真空决定于什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：旋片泵的极限真空决定于转子和泵腔及旋片所形成的有害空间，。

52、如何评价泵的基本性能？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

52、如何评价泵的基本性能？答：从以下几方面来评价�?）抽气速率�?）极限压强；3）最大工作压强；4）可运用范围。对于超高真空范围内的泵还需要考虑对不同气体的�?..

51、简述真空泵的抽气原理？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩�?）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气...

50、辉光放电的等离子区中电离度是多少？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：约数量级。

49、放电过程中为什么会发光？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在放电的区域中存在激发发光，离子复合发光（负辉区），电子复合发光（等离子区）。

48、放电的本征区域是什么？为什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：放电的本征区域是阴极位降区，包括阿斯顿暗区，阴极辉区和阴极暗区。该区的电位降落几乎等于放电电压，维持放电的电离过程主要发生在这一区域，是放电的各个区域中唯一...

47、汤生放电阶段中包含哪几类重要的物理过程？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：过程，电子在向阳极运动的过程中与气体分子电离碰撞，产生新的离子和电子�? 过程，离子在向阴极运动的过程中与气体分子电离碰撞，产生新的离子和电子�? 过程，正...

46、什么是非自持放电？什么是自持放电？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答？必须依靠初始载流子的放电叫非自持放电。而不需要初始载流子就能维持的放电叫自持放电。

45、什么是被激导电和自激导电？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：全部由被激载流子参与的导电叫被激导电。而有自激载流子参与的导电叫自激导电。

44、除了激发和电离，在放电空间还有哪些非弹性碰撞过程？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：1）附着过程：；2）复合过程：（离子复合），（电子复合）；3）转荷过程：�?）潘宁效应：。

43、什么是弹性碰撞？什么是非弹性碰撞？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：两个粒子碰撞前后除了动量守恒，总动能也守恒称为弹性碰撞。如碰撞前后仅动量守恒，总动能不守恒称为非弹性碰撞，此时动能与原子内部的能量发生转化。如动能减少，为�?..

42、什么是激发和电离？它们属于哪一类非弹性碰撞？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：原子中电子从较低的定态（能态）跃迁到较高的定态的过程称为激发，它是第一类非弹性碰撞过程。一个电子脱离原子成为自由电子的过程；或一个原子失去一个电子而成为正�?..

41、在弹性碰撞和非弹性碰撞中，电子、离子在传递能量中各有何特点？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：平均地讲，在弹性碰撞中电子不能传递能量，而在非弹性碰撞中能给出自己的全部能量；离子在弹性碰撞和非弹性碰撞中都传递自己一半的能量。

40、当你正对磁场方向时，电子绕磁场的旋转方向如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：电子作逆时针旋转。

39、利用正交场控制电子的运动可以起到什么作用？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：正交场控制电子运动可实现严格的聚焦，利用正交场束缚电子做旋轮线运动，可大大延长电子在空间的飞行时间，从而显著提高其电离能力。

38、电子在均匀电场、均匀磁场和正交均匀电磁场中运动的轨迹如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：电子在均匀电场中作抛物线运动（初速度和电场方向平行时作直线运动）；电子在均匀磁场中作螺旋线运动（初速度与磁场平行时，作直线运动）；电子在正交均匀电磁场中做旋...

37、在吸附现象研究中有哪些重要的物理量？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在吸附现象研究中比较重要的物理量有吸附热q，覆盖度，平均居留时间和打击系数。

36、化学吸附为什么是单分子层吸附？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：因为剩余价力作用范围有限，仅一个分子层的距离。故吸附满一层分子后，剩余价力已用尽，不可能再隔层产生作用。

35、物理吸附为什么是多分子层吸附？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：因为范德瓦尔力存在于任何气—固界面之间，同种气体分子间也存在范氏力，故物理吸附是多分子层吸附。

34、物理吸附热和化学吸附热各为多少？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：物理吸附热约20千卡/摩尔，类似气体的凝聚热。化学吸附热为几百千�?摩尔，类似化学反应热。

33、什么是平衡态？什么是非平衡态？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：气体内部宏观参量（P、T）处处一致的状态称为平衡态。气体内部宏观参量（P、T）处处不一致的状态称为非平衡态。

32、平衡吸附量决定于什么因素？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：对于特定的气—固界面，平衡吸附量决定于压力P和温度T。

31、什么是范德瓦尔力？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：包括静电力、诱导力、色散力和斥力。

30、长管与短管的界限及孔与短管的界限如何？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：为长管，为短管，为短管，为孔。

29、为什么用流量来表征气体流动的强弱？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：由于即为单位时间通过管道截面的气体的分子数，所以若流动过程中温度保持不变，流量是与成正比的，所以等温流动中，流量的大小可以表征气流的强弱。

28、什么是气体的流量？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：单位时间通过管道截面的气体量称为流量，即或，还有和等。

27、什么是管道的传输几率？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：一个分子进入管道入口并能通过管道的几率称为传输几率，它决定于入口的面积与管道的侧面积的比值，即决定于，传输几率w与管道入口的流导的乘积即为管道的流导，即。

26、如何判断粘滞流和分子流？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：粘滞流和分子流的判断依据可用克努曾数，当时，为粘滞流，当时，为分子流；当时，为粘�?分子流（又称过渡流）。也可以用值来判断，即，为粘滞流；，为分子流；当，�?..

25、什么是真空基本方程？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在一连续排气的真空系统中，任一流导U与其两侧的等效抽速S0和S之间满足如下关系，，此式即为真空基本方程。气体是从S0侧流向S侧，S0，S可以是泵的实际抽速，...

24、长圆管道的分子流流导和粘滞流流导的主要区别是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：主要区别在于分子流流导与管道的压力无关，而粘滞流流导正比于管内的平均压力，压力越高，流导就越大。故随着压力的变化，粘滞流流导也随着变化。

23、为什么用管孔串联的方法计算短管的流导？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：气体经过管道的流动中所受的阻力可分为两个部分，即入口的阻力和管道内部的阻力，相应的流导亦是如此。管道长，后一项远大于前一项，故可忽略管口的阻力；当管道短时，...

22、高压下和低压下气体热传导现象的主要不同是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在满足的高压条件下，气体的热传导与压力无关。在满足的低压条件下，气体的热传导与压力有关，且与压强成正比。

21、气体分子是依靠什么进行物理量的输运？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：气体分子依靠自身的热运动以及频繁的碰撞进行物理量的输运。

20、分子从平面蒸发源上蒸发遵从怎样的分布规律？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：分子从平面蒸发源上蒸发亦遵从克努曾余弦角分布定律。即，为蒸发方向与表面法向夹角。

19、气体分子在表面上反射遵从什么规律？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：气体分子在表面上反射遵从克努曾余弦漫反射定律。即气体分子的反射与飞来方向无关，向任何可能的方向反射都存在一定的几率，即，为反射方向与表面法向夹角。

18、温度升高，什么样的分子数增加了？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：温度升高能量大的分子数增加了，当温度由升高到时，两分布曲线相交处对应的速率为，则的分子数都增加了。

17、温度升高，气体分子的平均自由程如何变化？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：由于，等式右边的各量与温度无关，故平均自由程不变。

16、温度升高，气体分子的平均碰撞次数如何变化？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：由于，温度升高增大，所以平均碰撞次数增多。

15、单位时间碰撞到单位面积上的气体分子的体积是多少？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：。对�?5℃的空气�?11.6L/s。

14、单位时间碰撞到单位面积上的分子数中什么方向碰撞上去的分子数最多？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

14、单位时间碰撞到单位面积上的分子数中什么方向碰撞上去的分子数最多？答：从正上方，即与表面法线方向重合的方向上碰撞上去的分子数最多。

13、若d为容器的有效尺寸，则气体在和状态下有什么区别？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：在的状态下，气体分子之间的碰撞次数远大于气体分子与器壁之间的碰撞次数。而在状态下，气体分子相互间几乎不发生碰撞，而只有气体分子与器壁之间的碰撞。

12、电子和离子在气体中的平均自由程与气体分子的平均自由程有何区别？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：由于离子的运动速度比气体分子大，所以离子的平均自由程比气体分子长，即。另由于电子运动速度比气体分子更大，且电子的体积小，所以电子平均自由程比气体分子更长，�?..

11、气体分子碰撞的本质是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：一个分子在另一个分子的斥力场中运动方向发生急剧变化的过程称为分子之间的碰撞。

10、标准大气压是如何定义的？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：标准大气�?atm=101325Pa。

9、如何由总压强求出分压强？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：一、如混合气体中，某种成分的摩尔百分数为，则该种成分分压强为总压强，其中为i成分的摩尔数，r为各种成分的总摩尔数。二、如混合气体中，某种成分的体积百分数为则...

8、什么是物态方程？如何表达？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：反映一定质量的气体，其质量和状态参量（P,V,T）之间相互关联的方程，称为状态方程，又称为物态方程，即。

7、气体热运动有代表性的速率有哪些？它们各自的表达式？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

7、气体热运动有代表性的速率有哪些？它们各自的表达式？答：有代表性的速率及表达式如下�?) 最可几速率�?2) 算术平均速率�?) 均方根速率�?

6、气体的压强是如何产生的？压强公式？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：气体分子由于热运动碰撞到容器壁上要传递法向的动量，单个分子传递的动量是间断的，随机的。但是大量分子在单位时间内传递的动量总和是持续的稳定的数值，它等于宏观上...

5、什么是气体分子热运动的速度分布律？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：把气体分子热运动的速度按大小分类，再统计出在某一个速度间隔内的分子数有多少，称为气体分子热运动的速度分布率。在平衡状态下，气体分子热运动速度服从麦克斯韦分布...

4、温度的实质是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：根据温度与气体分子热运动平均平动动能的统计平均值相关联，即温度是气体分子热运动强度的宏观表现。

3. 什么是道尔顿分压定律？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：不互相起化学反应的气体混合在一起，其总压强等于各成分的分压强之和。所谓分压强即指该种气体成分单独存在时，具有和混合气体一样的体积和温度，并且有和混合气体中该...

2. 为什么用PV值来描述气体量的多少？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-15

答：根据理想气体状态方程：,如气体种类一定，温度一定，皆为常数，故有，C为常数，即PV值正比于气体的质量数，可间接描述气体量的多少。

1. 什么是真空？真空的特点是什么？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-14

答：真空是泛指低于当地大气压的气体状态。真空的特点是单位体积内的分子数较大气压下减少；分子之间以及分子与容器壁之间的碰撞次数减少。

低碳、无油蒸发镀膜设备：蒸发镀膜产业的升级换代

苏州摩星真空科技有限公司 — 2019-02-14

低碳、无油蒸发镀膜设备：蒸发镀膜产业的升级换代苏州摩星真空科技有限公司1．简介蒸发膜是一种无污染的干式糖膜技术，属于国家重点扶持行业，蒸发镀膜主要用于装饰、日�?..

径流分子泵—分子蒸馏的最佳选择

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-26

一、背景分子蒸馏具有物料分离温度低、受热时间短、分离程度高和生物活性保留多等显著优点，目前，在精细化工和生物制药等领域获得了越来广泛的应用。然而，分子蒸馏...

蒸发镀膜的升级换代低碳、无油蒸发镀膜设备

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-26

一、应用领域蒸发镀膜是一种无污染干式镀膜技术，大量用于塑料表面金属化、手机部件、汽车部件、光学镀膜、汽车电池、电力电容、装饰镀膜和日用包装等领域二、市场需求、行...

一种水汽捕集泵冷凝管与法兰的密封结构

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-26

本实用新型揭露一种水汽捕集泵冷凝管与法兰的密封结构，包括法兰、固定于法兰一端的法兰接头以及穿过法兰接头的冷凝管，法兰接头中央开设有对接槽，对接槽的开口的外缘固定...

一种低碳、无油大抽速真空抽气机组及其抽气工艺

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-26

一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其包括真空腔体及设置于所述真空腔体内的第一真空阀，所述第一真空阀将所述真空腔体分割成真空室和高真空泵室两部分，所述真空室与放�?..

苏州摩星真空科技有限公司及其研发团队发明专利

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-26

－中国人发明的第一台真空泵－世界第一台兼有中、高真空双重性能的真空泵－中真空抽气能力遥遥领先的真空泵No专利名称专利�?真空熔炼炉ZL200310112360....

（一）问题百例

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

深圳市摩尔真空技术有限公司对深圳某大型钛金镀膜企�?港资)的溅射离子镀膜设备进行了成功的改�?用分子增压泵取代油扩散泵和罗茨泵，实现清洁真空，简化机组，降低能�?..

（一）泵的抽速与机组配置

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

关于真空泵的抽速和真空机组配置的几个问题。本文对如何最大限度地利用泵的抽速、如何针对不同的应用类型选择泵的抽速，以及真空机组配置问题作了简略的讨论。其中强调了�?..

（二）分子增压泵的应用

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子增压泵在真空技术中的应用分子增压泵是一种基于全拖动原理的新型高真空泵，它的特点是清洁、节能、超强的中真空抽气能力。这些特点使其能开拓全新的应用领域，并使传�?..

（三）真空技术基础知识

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

真空技术基础知识真空技术的理论基础是物理学，真空物理涵盖气体分子运动论和低温等离子体物理。前者包括气体在平衡态下的特性、非平衡态下依靠热运动的输运过程及宏观流...

（四）极限真空与放气量

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

再谈极限真空与放气量对真空应用设备而言极限真空和放气量是关乎品质的两个重要的概念，在钛金镀膜中尤是如此。这两个物理量相互关联，但哪一个更重要，更本质呢？应该是后...

（五）节能马儿

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

一匹吃很少的草却跑得飞快的骏马-- 介绍分子增压泵的节能效果--------龚建华自古以来就有“又要马儿跑，又要马儿不吃草”的说法。当然这种意念是违背科学原理�?..

（六）本底真空

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路、新设备和新工艺再谈本底真空与放气率储继�?龚建华目前，传统产业的升级换代已经成为国家的战略决策，各级政府已出台，或者即将出台各...

（七）一种新颖的抽气方法

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

一种新颖的抽气方法龚建�?储继国一个真空系统从大气开始抽气，首先抽除的是空间气体，并且遵�?.3 （为系统的时间常数）时间压力降低一个数量级的规律。空间气体量�?..

（八）分子增压泵和涡轮分子泵机理

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子增压泵和涡轮分子泵工作机理简�? 龚建�? 储继�?分子增压泵是基于拖动原理的高真空泵，同时具有优良的中真空抽气能力，是我国拥有独立...

（九）新一代磁控溅射的真空机组

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

新一代磁控溅射和阴极电弧离子镀设备的真空机组龚建华储继国所谓真空是低于当地大气压的气体状态。真空的度量借用了压力的概念，压力越低，真空度越高。因此压力是反映...

（十）分子增压泵磁控溅射镀膜设备

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子增压泵磁控溅射镀膜设备储继国1，龚建华21.深圳大学物理科学与技术学院，2.深圳市摩尔真空技术有限公司（广东省产学研基金项目）传统大型磁控溅射镀膜设备采用扩...

（十一）分子增压泵大型蒸发镀膜设备

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的新一代蒸发镀膜设备分子增压泵大型蒸发镀膜设备储继国1，龚建华2，郑主安3，蒋新元3，潘尚尧4，王树理5，王�?1．深圳大学物理科...

（十二）分子增压泵简介

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子增压泵简介概况分子增压泵是深圳大学真空获得研究团队从事分子泵研究30年取得的原创性成果，最近由深圳市摩尔真空技术有限公司实现产业化。该泵采用独特的专利技术，...

（十三）分子增压泵连续镀膜设备

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子增压泵连续镀膜设备储继国1�?龚建�?1. 深圳大学物理科学与技术学院，2. 深圳市摩尔真空技术有限公司（广东省产学研基金、深圳市产学研基金资助项目）一、背...

（十四）超低能耗双室卷绕蒸发镀膜设备的真空机组

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

在不同的真空镀膜应用中，真空机组有不同的配置，以及不同的抽气工艺。例如大型蒸发镀膜设备通常配置有效抽速达上万升的油扩散泵抽气机组，强劲的抽速可使系统在10�?5...

（十六）分子增压泵的一个闪光之处

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子增压泵的一个闪光之�? 龚建�? 储继国一颗璀璨明星悬掛在天空无疑是瞩目的，但若它在不停地闪烁则会更加吸引人们的眼球。分子增...

（十七）也谈分子蒸馏

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

也谈分子蒸馏龚建�? 储继�? 张永�? 分子蒸馏作为分离的前沿技术悄然进入人们的视野，但却来势迅猛，发展迅速，已在�?..

（十八）让分子蒸馏回归綠色产业

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

让分子蒸馏回归绿色产�? 龚建华一位英国学者曾经说过：真空技术总是与科技进步联系在一起。真空技术在越来越多的科技领域广泛应用所帶来的成就无...

真空园地

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

进入21世纪,真空技术在科学研究和国民经济领域起到越来越重要的作用�? 随着真空技术的日益普级，社会对真空技术的专业人材的需求也日益扩大。然而真空技术专...

（十五）真空镀膜设备抽气机组最佳配置的讨论

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

真空镀膜设备抽气机组最佳配置的讨论龚建�? 储继国不同种类、不同规格的真空镀膜设备配置的真空机组应该互不相同，这是理所...

径流牵引分子泵的研发历程

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

一、理论研究（1982-1997�?982：创立“分子泵的统计理论”，揭示分子泵工作机理，指明发展方向：Statistical theories of tur...

冲洗气体的消耗量是否很大？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

答：《冲洗抽气法》中，冲洗气体的消耗量并不大。按设备容积�?m3，冲洗上限压强为1...

分子泵的结构特点

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子泵的结构特点复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围�?((10-6 �?1Pa) 具有较大的抽速和较高的压...

分子泵的分类和工作条件

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵的分类：这种泵具体可分为�?)牵引分子...

分子泵的结构特点

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

灯泡行业中，冲洗抽气为什么采用油封式机械真空泵？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

灯泡行业中，冲洗抽气为什么采用油封式机械真空泵？答：灯泡排气台中，灯泡、抽气管道的内径很小，通常为十几mm，灯泡排气管的内径更小，仅几mm，相应冲洗上、下限压�?..

分子泵制灯行业的应用

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

当今经济的飞速发展带来能源的巨额消耗，并对人类生存环境带来威胁，增效降耗、节能减排是保护环境刻不容缓的世界性课题。作为中国高新真空技术企业之一的帕纳这些年积极�?..

分子泵是否“无油”？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

分子泵是否“无油”？这是一个老问题了。从工作机理来说，分子泵对油蒸汽的压缩比很高，即使前级有油蒸汽存在，高真空室通常无法检测到油蒸汽，所以，往往被称为�?无油�?..

冲洗抽气法对抽除吸附活性气体有效吗？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

冲洗抽气法对抽除吸附活性气体有效吗？答：冲洗抽气过程的简单分析中，没有讨论吸附气体的解吸问题。高真空的气体负载主要来自真空室表面吸附气体的解吸。不采用烘烤除气�?..

《冲洗抽气法》对真空室的漏气有无特殊要求？

苏州摩星真空科技有限公司 — 2018-12-05

《冲洗抽气法》对真空室的漏气有无特殊要求？设真空室的漏率为UL，真空泵的有效抽速为Se，则真空室的极限平衡压强 Pu=UL/Se。若冲洗抽气中采用与传统抽气方法...